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申请/专利权人：宁夏银和半导体科技有限公司

申请日：2018-10-10

公开（公告）日：2019-05-10

公开（公告）号：CN208844224U

专利技术分类：..添加掺杂材料，例如用于n-p结的[2006.01]

专利摘要：一种掺杂剂掺杂装置，掺杂剂掺杂装置与籽晶夹头可拆卸连接，籽晶夹头的一端与重锤螺纹连接，所述掺杂剂掺杂装置包括掺杂工装、掺杂单元，本实用新型中，第一支撑杆插装在籽晶夹头的第一通孔中，整个掺杂工装利用第一支撑杆悬挂固定，掺杂时，不用再将籽晶取下，避免了重复操作将籽晶装入籽晶夹头上，提高了工作效率和安全性，并且保证了籽晶不会因二次装入而造成的磨损；第一支撑杆和第二支撑杆的两端分别通过第一连接机构、第二连接机构吊装连接，第五吊钩吊装于第二支撑杆上，掺杂工装这种分体设计还能避免局部损坏后需要整体更换，而增加成本，拉晶炉内环境要求严格，整个掺杂工装采用钼材料制成，能防止污染，整个掺杂工装轻巧，使用方便。

专利权项：1.一种掺杂剂掺杂装置，其特征在于：所述掺杂剂掺杂装置与籽晶夹头可拆卸连接，籽晶夹头的一端与重锤螺纹连接，籽晶夹头的另一端夹持有籽晶，重锤通过拉绳悬吊在位于单晶炉副炉室上方的提拉机构上，在籽晶夹头的上设有水平的第一通孔，所述掺杂剂掺杂装置包括掺杂工装、掺杂单元，掺杂工装由钼材料制成，所述掺杂工装包括第一支撑杆、第一钩环、第二钩环、第一连接机构、第二连接机构、第三钩环、第四钩环、第二支撑杆、第五吊钩，第一支撑杆穿过第一通孔，并与第一通孔螺纹配合，以使第一支撑杆相对籽晶夹头位置固定，第一支撑杆的两端分别固定安装有第一钩环、第二钩环，第一连接机构包括第一吊钩、第一钼绳、第二吊钩，第一钼绳两端分别与第一吊钩、第二吊钩的连接端连接，第二连接机构包括第三吊钩、第二钼绳、第四吊钩，第二钼绳两端分别与第三吊钩、第四吊钩的连接端连接，第二支撑杆的两端分别固定安装有第三钩环、第四钩环，第二支撑杆中部具有一个向下弯曲段，在弯曲段钩挂第五吊钩，第一吊钩、第二吊钩、第三吊钩、第四吊钩分别钩挂第一钩环、第三钩环、第二钩环、第四钩环上，以将第二支撑杆吊装在籽晶夹头的下方，所述掺杂单元的顶部与第五吊钩的连接端连接，以将掺杂单元吊装在第二支撑杆的下方。

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