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申请/专利权人：研能科技股份有限公司
摘要：一种微机电泵的制造方法，包含以下步骤：a提供第一基板，将第一基板薄化至第一厚度；b于第一基板形成第一氧化层并蚀刻出进气孔；c提供第二基板，将第二基板薄化至第二厚度，并于第二基板上蚀刻出穿孔；d将第二基板结合至第一基板，且第一氧化层位于第一基板与第二基板之间，进气孔与穿孔错位；e提供第三基板，将第三基板薄化至第三厚度；f于第三基板上形成第二氧化层并蚀刻出气体通道；g于第三基板设置压电组件；以及h将第三基板结合至第二基板，且第二氧化层位于第二基板与第三基板之间。
主权项：1.一种微机电泵的制造方法，其特征在于，包含以下步骤：a提供一第一基板，将该第一基板薄化至一第一厚度；b于该第一基板形成一第一氧化层，且该第一基板蚀刻出至少一进气孔；c提供一第二基板，将该第二基板薄化至一第二厚度，且该第二基板上蚀刻出一穿孔；d将该第二基板结合至该第一基板，且该第一氧化层位于该第一基板与该第二基板之间，该进气孔与该穿孔错位；e提供一第三基板，将该第三基板薄化至一第三厚度；f于该第三基板上形成一第二氧化层，且该第三基板蚀刻出多个气体通道；g于该第三基板设置一压电组件，该压电组件设置于与该第二氧化层相对的另一表面；以及h将该第三基板结合至该第二基板，且该第二氧化层位于该第二基板与该第三基板之间，该气体通道与该穿孔错位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 研能科技股份有限公司 微机电泵的制造方法
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