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申请/专利权人：研能科技股份有限公司
摘要：一种微机电泵的制造方法，包含以下步骤：a提供第一基板，将第一基板薄化至第一厚度且第一基板蚀刻出至少一进气孔；b提供第二基板，将第二基板薄化至第二厚度，于第二基板设置相对的第一氧化层及第二氧化层，并于第二基板上蚀刻出穿孔；c将第二基板结合至第一基板，且第一氧化层位于第一基板与第二基板之间，进气孔与穿孔错位；d提供第三基板，将第三基板薄化至第三厚度并蚀刻出至少一气体通道；e于第三基板设置压电组件；f以及将第三基板结合至第二基板，且第二氧化层位于第二基板与第三基板之间，气体通道与穿孔错位。
主权项：1.一种微机电泵的制造方法，其特征在于，包含以下步骤：a提供一第一基板，将该第一基板薄化至一第一厚度且该第一基板蚀刻出至少一进气孔；b提供一第二基板，将该第二基板薄化至一第二厚度，于该第二基板设置相对的一第一氧化层及一第二氧化层，并于该第二基板上蚀刻出一穿孔；c将该第二基板结合至该第一基板，且该第一氧化层位于该第一基板与该第二基板之间，该进气孔与该穿孔错位；d提供一第三基板，将该第三基板薄化至一第三厚度并蚀刻出多个气体通道；e于该第三基板设置一压电组件；以及f将该第三基板结合至该第二基板，且该第二氧化层位于该第二基板与该第三基板之间，该气体通道与该穿孔错位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 研能科技股份有限公司 微机电泵的制造方法
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