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一种适用于ICP-OES的CrSi合金制样方法 

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申请/专利权人:宁波江丰电子材料股份有限公司

摘要:本发明提供了一种适用于ICP‑OES的CrSi合金制样方法,所述CrSi合金制样方法包括如下步骤:混合CrSi合金靶材与混合酸,再加热至90‑100℃保温,加热与保温的总时间为40‑60min,得到样品溶液;所述混合酸为体积比1‑3:1‑3组成的盐酸与氢氟酸,所述盐酸的浓度为36‑38wt%,所述氢氟酸的浓度为35‑38wt%。本发明提供的CrSi合金制样方法能够在40‑60min内完全溶解CrSi合金靶材,溶解效率高,且填补了CrSi合金靶材进行ICP‑OES测试时的制样空白。

主权项:1.一种适用于ICP-OES的CrSi合金制样方法,其特征在于,所述CrSi合金制样方法包括如下步骤:混合CrSi合金靶材与混合酸,再加热至90-100℃保温,加热与保温的总时间为40-60min,得到样品溶液;所述混合酸为体积比1-3:1-3组成的盐酸与氢氟酸,所述盐酸的浓度为36-38wt%,所述氢氟酸的浓度为35-38wt%。

全文数据:

权利要求:

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