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申请/专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
摘要：本发明提供一种CrSi基合金靶材及其制备方法，所述CrSi基合金靶材按照原子百分比由以下成分组成：Si1‑30％；Me0‑10％，余量为Cr；其中，Me选自B、Nb、W、Mo、Ta、V元素中的一种或多种。本发明通过选择CrSi2合金粉、Cr粉，或者选择CrSi2合金粉、Cr粉及Me粉作为预合金粉末来制备CrSi基合金靶材；制备得到的CrSi基合金靶材相对密度高，晶粒尺寸均匀，且可有效解决传统工艺存在的靶材脆性大，易开裂、难加工的问题。
主权项：1.一种CrSi基合金靶材，其特征在于，按照原子百分比由以下成分组成：Si1-30％；Me0-10％，余量为Cr；其中，Me选自B、Nb、W、Mo、Ta、V元素中的一种或多种。
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权利要求：
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