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申请/专利权人:合肥矽格玛应用材料有限公司
摘要:本发明涉及靶材技术领域,具体说是一种Z字型拼接靶材,包括底板以及对称设置在底板上端的调节装置,所述的调节装置相近端固定连接有背靶,背靶呈空心结构,背靶侧壁上拼接有若干靶材而形成靶面,靶材和背靶之间通过锁紧装置相连,通过将传统一体式靶材设计成多块可拼接的结构,且单块靶材设计成“Z”字型,拼接处相互压合,有利于保证拼接的牢靠性,通过更换靶材位置,提高了靶材利用率,此外,靶材和背靶之间可用便于拆装的锁紧装置,有利于靶材的移位替换,提高了靶材换位的效率。
主权项:1.一种Z字型拼接靶材,包括底板(1)以及对称设置在底板(1)上端的调节装置(2),其特征在于:所述的调节装置(2)相近端固定连接有背靶(3),背靶(3)呈空心结构,背靶(3)侧壁上拼接有若干靶材(4)而形成靶面,靶材(4)和背靶(3)之间通过锁紧装置(5)相连;所述的背靶(3)靠近靶材(4)的侧壁从上至下均匀开设有滑槽(31),滑槽(31)成对设置且每对滑槽(31)之间的背靶(3)上开设有贯通型槽(32),贯通型槽(32)上下两侧的滑槽(31)内对称开设有定位孔(33);单个所述的靶材(4)靠近背靶(3)的侧壁中部固定设置有延伸杆(41),延伸杆(41)远离靶材(4)的端头固定连接有卡头(42),卡头(42)延伸至贯通型槽(32),延伸杆(41)四周的靶材(4)侧壁上固定设置有对应定位孔(33)数量的定位杆(43),定位杆(43)远离靶材(4)的端头抵接在定位孔(33)内;所述的靶材(4)截面呈“Z”字型使得靶材(4)两端距离背靶(3)形成近端面(44)和远端面(45),沿水平方向上所述靶材(4)的近端面(44)和与其相邻的所述靶材(4)的远端面(45)之间通过卡接组件(46)配合相连形成横向靶面,沿竖直方向上相邻的两块所述靶材(4)之间相互紧贴而形成竖向靶面,横向靶面和竖向靶面共同构成靶面。
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权利要求:
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