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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于半导体领域，公开了一种氧化铝锌靶材的制备方法，所述制备方法先将氧化铝锌粉末放入坩埚中煅烧，过筛，得到粉体一；再将粘结剂溶液喷洒在粉体一上，烘干，得到粉体二；而后将粉体二与氧化铝锌粉末混合，调整水分，得到粉体三；最后将粉体三造粒，模压成型，烧结，得到氧化铝锌靶材，本发明所制备的低密度AZO靶材其晶粒尺寸细小且成分均匀，具有较低的电阻率、纯度≥99.99％、相对密度在55％～65％、靶材性能稳定、蒸镀时不易开裂，蒸镀后导电薄膜拥有高透过率及高电导率的特性，此外本申请还公开了一种氧化铝锌靶材及其应用。
主权项：1.一种氧化铝锌靶材的制备方法，其特征在于，包含如下步骤：步骤1：将氧化铝锌粉末放入坩埚中煅烧，过筛，得到粉体一；步骤2：将粘结剂溶液喷洒在步骤1中的粉体一上，烘干，得到粉体二；步骤3：将步骤2中的粉体二与氧化铝锌粉末混合，调整水分，得到粉体三；步骤4：将步骤3中的粉体三造粒，模压成型，烧结，得到氧化铝锌靶材；所述步骤1中的氧化铝锌粉末与步骤3中的氧化铝锌粉末两者的粒径都为50～300nm，且两者的质量比为95～98：2～5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种氧化铝锌靶材及其制备方法、应用
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