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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本实用新型涉及靶材加工技术领域，公开了一种靶材研磨抛光固定装置，包括盘体，所述盘体上开设有用于安放待研磨的靶材的凹槽，所述凹槽的深度小于待研磨的靶材的厚度，所述盘体背向所述凹槽的一侧设有用于连接研磨抛光机主轴的安装孔，所述盘体上还设有与所述凹槽相连通的排液孔。本实用新型提供的靶材研磨抛光固定装置，不仅可以达到快速固定靶材、快速取出靶材的目的，还可以重复使用，避免粘结物残留，而且所述盘体及凹槽的形状尺寸可以根据待研磨抛光靶材的形状尺寸进行定制，提高良品率以及靶材研磨抛光的整体周转率，可重复使用；选材质量较轻，不易生锈，适合批量生产。
主权项：1.一种靶材研磨抛光固定装置，其特征在于：包括盘体，所述盘体上开设有用于安放待研磨的靶材的凹槽，所述凹槽的深度小于待研磨的靶材的厚度，所述盘体背向所述凹槽的一侧设有用于连接研磨抛光机主轴的安装孔，所述盘体上还设有与所述凹槽相连通的排液孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种靶材研磨抛光固定装置
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