龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要：本发明公开了一种CrSi靶材及其制备方法与应用，属于金属加工领域，本发明所述方法通过特定的原料混合以及特殊的阶段程序式烧结和压力控制工艺，使得制备的产品在不依赖特殊设备或者严苛条件的情况下即可达到高致密度和高纯度的要求，同时Cr‑Si元素的含量控制稳定性高，产品综合品质高，可实现工业化批量生产。
主权项：1.一种CrSi靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1将Si粉和Cr粉混合，在保护气氛下球磨处理后，得混合粉体，所述混合粉体的粒径Dv50≤50μm；2将混合粉体在真空环境下进行预压处理，得粗靶坯；3将粗靶坯在真空环境下以15～20℃min的速率一次升温至600～800℃，同时在环境压力达到6～10MPa时，以1.5～3MPamin的速率泄压3～6min；4随后以8～10℃min的速率二次升温至1150～1250℃，同时在环境压力达到5～8MPa时以1～2MPamin的速率泄压2～5min；5在1150～1250℃下保温30～60min，同时在环境压力达到3～5MPa时以0.5～1MPamin的速率泄压3～6min；6保温结束后，以以0.3～0.5MPamin速率加压至35～40MPa并继续保温保压90～150min，冷却，即得所述CrSi靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(安徽)有限公司 一种CrSi靶材及其制备方法与应用
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号