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申请/专利权人：新中天环保股份有限公司
摘要：本发明属于羧酸酯的提取技术领域，公开了一种从电子PGMEA废溶剂中回收PGMEA的方法，包括以下步骤：先将废溶剂导入薄膜蒸发器内，并利用蒸汽进行加热，产生废溶剂气相，并将废溶剂气相导入冷凝器内进行冷凝，形成PGMEA半成品，并导入溶剂接收中间槽；再将PGMEA半成品导入精馏塔内，精馏塔的塔顶压力保持在5～15KPa，精馏塔的塔顶温度为48～52℃，精馏塔的塔釜温度为85～89℃，精馏塔侧线的温度为82～86℃；最后从精馏塔的侧线采出PGMEA。本发明解决了现有技术不能去除废溶剂内的光刻胶，导致回收的PGMEA纯度低的问题。
主权项：1.一种从电子PGMEA废溶剂中回收PGMEA的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，脱重处理将废溶剂导入设有蒸汽夹套管的薄膜蒸发器内，并利用蒸汽进行加热，产生废溶剂气相，再将废溶剂气相导入冷凝器内进行冷凝，形成PGMEA半成品，并导入溶剂接收中间槽内；步骤二，提纯将PGMEA半成品导入精馏塔内，使精馏塔的塔顶压力保持在5～15KPa，精馏塔的塔顶温度为48～52℃，精馏塔的塔釜温度为85～89℃，精馏塔侧线的温度为82～86℃，再从精馏塔的侧线采出PGMEA。
全文数据：
权利要求：
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