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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日：2020-05-28
公开（公告）日：2022-01-28
公开（公告）号：CN113994255A
专利技术分类：...检查[2012.01]
专利摘要：提供一种对基片进行检查的基片检查装置，包括：取得部，其基于图像估计模型和经基片处理装置处理前的检查对象基片的拍摄图像，取得经所述基片处理装置处理后的所述检查对象基片的估计图像，其中，所述图像估计模型是使用多个基片各自的经所述基片处理装置处理前的拍摄图像和处理后的拍摄图像通过机器学习而生成的；和判断部，其基于经所述基片处理装置处理后的所述检查对象基片的拍摄图像和所述估计图像，判断该检查对象基片有无缺陷。
专利权项：1.一种对基片进行检查的基片检查装置，包括：取得部，其基于图像估计模型和经基片处理装置处理前的检查对象基片的拍摄图像，取得经所述基片处理装置处理后的所述检查对象基片的估计图像，其中，所述图像估计模型是使用多个基片各自的经所述基片处理装置处理前的拍摄图像和处理后的拍摄图像通过机器学习而生成的；和判断部，其基于经所述基片处理装置处理后的所述检查对象基片的拍摄图像和所述估计图像，判断该检查对象基片有无缺陷。
百度查询： 东京毅力科创株式会社 基片检查装置、基片检查系统和基片检查方法
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