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申请/专利权人:采钰科技股份有限公司
申请日:2021-09-27
公开(公告)日:2022-08-30
公开(公告)号:CN114975194A
专利技术分类:..使用专用的载体的[2006.01]
专利摘要:本发明提出一种晶舟。晶舟用于收容一晶片,晶舟包括一壳体、一第一支撑肋以及一第二支撑肋。第一支撑肋设于该壳体之中,其中,该第一支撑肋包括一前支撑部、一中支撑部以及一后支撑部,该前支撑部连接该中支撑部的一端,该后支撑部连接该中支撑部的另一端,该前支撑部具有一前弧状边缘。第二支撑肋设于该壳体内。该晶片的边缘由该第一支撑肋以及该第二支撑肋所支撑,该前支撑部、该中支撑部以及该后支撑部同时接触该晶片。
专利权项:1.一种晶舟,用于收容一晶片,包括:一壳体,包括一前开口,其中,该晶片经由该前开口进入该壳体;一第一支撑肋,设于该壳体之中;以及一第二支撑肋,设于该壳体之中,其中,该晶片由该第一支撑肋以及该第二支撑肋所支撑,该第一支撑肋接触该晶片的一第一接触区,该第二支撑肋接触该晶片的一第二接触区,其中,相对于该晶片的圆心,该第一接触区的范围角度介于80度至110度之间,而该第二接触区的范围角度介于80度至110度之间。
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