龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日：2018-10-31
公开（公告）日：2020-05-08
公开（公告）号：CN111128814A
专利技术分类：..使用专用的载体的[2006.01]
专利摘要：本公开提供一种晶舟，包括第一预设数量个支撑柱，每个所述支撑柱上固定有第二预设数量个支撑件，所述支撑件包括：第一支撑部，具有第一长度；第三预设数量个第二支撑部，上表面为仅具有一个顶点的曲面，下表面与所述第一支撑部连接，具有第二长度，且所述第二长度小于所述第一长度。本公开提供的晶舟可以有效改善晶舟支撑件与晶圆的磨损、颗粒飘落问题，同时避免降低支撑件的支撑强度。
专利权项：1.一种晶舟，包括第一预设数量个支撑柱，每个所述支撑柱上固定有第二预设数量个支撑件，其特征在于，所述支撑件包括：第一支撑部，具有第一长度；第三预设数量个第二支撑部，上表面为仅具有一个顶点的曲面，下表面与所述第一支撑部连接，所述下表面具有第二长度，所述第二长度小于所述第一长度。
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 晶舟
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号