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申请/专利权人：茂迪（苏州）新能源有限公司
申请日：2011-05-06
公开（公告）日：2011-09-14
公开（公告）号：CN201975379U
专利技术分类：..使用专用的载体的[2006.01]
专利摘要：本实用新型公开了一种晶舟，该晶舟包括：固定架；设置在所述固定架上的支撑条和卡片条；设置在支撑条表面、可拆卸的第一垫片条，所述第一垫片条和支撑条共同作用对晶片起支撑作用；设置在卡片条表面、可拆卸的第二垫片条，所述第二垫片条和卡片条共同作用对晶片起卡持作用。本实用新型所提供的晶舟在被污染后，只需更换其上的第一垫片条和第二垫片条即可，因此，不用准备较多的晶舟以备更换，也避免了晶舟被多次清洗而导致报废，从而可节省成本。
专利权项：一种晶舟，其特征在于，包括：固定架；设置在所述固定架上的支撑条和卡片条；设置在支撑条表面、可拆卸的第一垫片条，所述第一垫片条和支撑条共同作用对晶片起支撑作用；设置在卡片条表面、可拆卸的第二垫片条，所述第二垫片条和卡片条共同作用对晶片起卡持作用。
百度查询： 茂迪（苏州）新能源有限公司 晶舟
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