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申请/专利权人:深圳市深科达智能装备股份有限公司
申请日:2022-04-06
公开(公告)日:2022-11-11
公开(公告)号:CN217788355U
专利技术分类:..使用专用的载体的[2006.01]
专利摘要:本申请实施例公开一种晶圆盒、晶圆搬运设备,所述晶圆盒包括相对设置的两个承载件和面光源,两个所述承载件围成位于两个所述承载件之间的容纳空间和位于所述容纳空间一侧的取放口,所述容纳空间用于收纳多片平行于第一基准面的晶圆;所述面光源设置在所述容纳空间远离所述取放口的一侧,用于朝向所述容纳空间发光,所述面光源与所述取放口相对设置,能够达到对晶圆精准对位、搬运与自动化操作的目的。
专利权项:1.一种晶圆盒,其特征在于,所述晶圆盒包括:相对设置的两个承载件,两个所述承载件围成位于两个所述承载件之间的容纳空间和位于所述容纳空间一侧的取放口,所述容纳空间用于收纳多片平行于第一基准面的晶圆;以及面光源,设置在所述容纳空间远离所述取放口的一侧,用于朝向所述容纳空间发光,所述面光源与所述取放口相对设置。
百度查询: 深圳市深科达智能装备股份有限公司 晶圆盒、晶圆搬运设备
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