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基材搬运手、基材搬运装置及基材搬运方法专利

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申请/专利权人:韩华株式会社

申请日:2022-05-10

公开(公告)日:2023-09-01

公开(公告)号:CN116685552A

专利技术分类:....载荷夹持或保持装置[2006.01]

专利摘要:本发明涉及一种基材搬运装置及利用该基材搬运装置的基材搬运方法。根据本发明一实施例的基材搬运装置作为从相对装置接收基材或者将基材传送到所述相对装置的装置,包括:无人搬运车,沿着预定路径移动;本体,设置在所述无人搬运车上;及搬运手,设置于所述本体的内部且至少一部分向所述本体的外部突出,装载或卸载所述基材,并且在一侧设有定位传感器,所述定位传感器检测设置在所述相对装置上的标记以确认与所述相对装置的位置差,其中,根据所述定位传感器所确认的位置差而校正所述搬运手的位置。

专利权项:1.一种基材搬运装置,作为从相对装置接收基材或者将基材传送到所述相对装置的装置,包括:无人搬运车,沿着预定路径移动;本体,设置在所述无人搬运车上;及搬运手,设置于所述本体的内部且至少一部分向所述本体的外部突出,装载或卸载所述基材,并且在一侧设有定位传感器,所述定位传感器检测设置在所述相对装置上的标记以确认与所述相对装置的位置差,其中,根据所述定位传感器所确认的位置差而校正所述搬运手的位置。

百度查询: 韩华株式会社 基材搬运手、基材搬运装置及基材搬运方法

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