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摘要:本发明公开了一种具有纵向超结子层的耐压区,包括源区和漏区,以及位于源区和漏区之间的M个超结子层;M个超结子层沿着源区至漏区方向依次分布,相邻的超结子层之间通过阻挡层分离;M为大于1的整数。本申请中各个超结子层的击穿电压可以独立设计,且整个耐压区的最终击穿电压由各个超结子层叠加而成,为耐压层的击穿电压的设计提供了设计灵活性,且使得最终的比导通电阻与击穿电压呈现线性关系,有效地改善了现有技术中随着击穿电压增大,比导通电阻对应升高的矛盾关系。
主权项:1.一种具有纵向超结子层的耐压区,其特征在于,包括源区和漏区,以及位于源区和漏区之间的M个超结子层;M个超结子层沿着源区至漏区方向依次分布,相邻的超结子层之间通过阻挡层分离;M为大于1的整数。
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权利要求:
百度查询: 希力微电子(深圳)股份有限公司 一种具有纵向超结子层的耐压区
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