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申请/专利权人：清华大学
摘要：本发明公开了光致力探测显微镜及其应用，该光致力探测显微镜，包括光学激发系统、控制系统和信号采集系统，光学激发系统包括激发光光源、驱动器、全内反射镜和探针，激发光从样品的下方经全内反射镜聚焦到样品待检测面，探针设置在样品的上方，驱动器用于驱动探针发生振动；控制系统用于控制样品进行移动；信号采集处理系统包括四象限探测器、第一图锁相放大器和第二图锁相放大器，四象限探测器用于接收探针的振动信号且将振动信号转换为振动电信号，探针的振动电信号分别经过第一图锁相放大器和第二图锁相放大器进行解调。由此，光致力探测显微镜的检测信号强度大幅增加，空间分辨率显著增加，有利于更好地对物质组分进行检测。
主权项：1.一种光致力探测显微镜，其特征在于，包括光学激发系统、控制系统和信号采集系统，所述光学激发系统包括激发光光源、驱动器、全内反射镜和探针，所述激发光光源发出的激发光从样品的下方经全内反射镜聚焦到样品待检测面，所述探针设置在所述样品的上方且所述探针不和所述样品待检测面接触，所述驱动器用于驱动所述探针发生振动；所述控制系统用于控制所述样品进行移动，以使所述激发光照射到所述样品的所有待检测区域；所述信号采集系统包括四象限探测器、第一图锁相放大器和第二图锁相放大器，所述四象限探测器用于接收探针的振动信号且将所述振动信号转换为振动电信号，探针的所述振动电信号分别经过所述第一图锁相放大器和所述第二图锁相放大器进行解调，以便得到所述样品的高度信号和光力信号；所述探针的针尖和所述样品待检测面沿Z方向的距离为1纳米-65纳米；所述控制系统包括控制器，所述控制器包括探针移动控制器，通过所述探针移动控制器可以调控所述探针和所述样品待检测面的距离。
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百度查询： 清华大学 光致力探测显微镜及其应用
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