龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及半导体技术领域。本发明提供了一种AlN‑ScN超晶格材料及其制备方法。本发明的制备方法，通过控制AlN薄膜层、ScN薄膜层的叠加层数，结合提供范德华相互作用的二维材料插入层以及高温退火，得到AlN‑ScN超晶格材料。对AlN‑ScN超晶格结构的不同晶相进行势能面扫描，确定不同AlN薄膜层、ScN薄膜层的叠加层数条件下的最稳定晶相；进行AlN薄膜层、ScN薄膜层的叠加层数控制的AlN‑ScN超晶格结构生长；本发明可以实现大范围AlSc组分比的可控晶相AlN‑ScN材料，并且可以实现一种新的纤锌矿‑岩盐矿混合结构AlN‑ScN材料。
主权项：1.一种AlN-ScN超晶格材料，其特征在于，包括：衬底，所述衬底表面依次交替设有AlN层、ScN层；其中，所述AlN层包括多个依次叠加的AlN薄膜层，所述ScN层包括多个依次叠加的ScN薄膜层；所述AlN薄膜层的叠加次数为1～3次；所述ScN薄膜层的叠加次数为1～3次。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种AlN-ScN超晶格材料及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号