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申请/专利权人：上海华力微电子有限公司
摘要：一种基于Q‑time容时区间站点断线的智能调控方法，包括：合并三层首位相连的Q‑time区间，形成嵌套Q‑time容时区间，获取起始站点与下游断线站点组合后根据风险等级判定的调控方式；针对每一Lot检测多层Q‑time容时区间内每一作业站点设备状况；针对每一Lot仿真预测多层Q‑time容时区间内每个站点对应设备作业程式可作业状况；针对每一Lot仿真预测多层Q‑time容时区间内每一作业站点信息；储存Q‑time容时区间内每一作业站点断线信息，针对调控方式进行标记，形成运行路径RunPath集合，用于晶圆制造单元产品Lot映射Q‑time容时区间每一站点，进行判定是否可调度派工。本发明不仅可提高派工调度准确性，降低人为错误预判，而且降低重新作业概率，减少设备复机后闲置时间，改善产品流通速率及生产周期。
主权项：1.一种基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法，其特征在于，所述基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法，包括：执行步骤S1：合并三层首尾相连的Q-time区间，形成嵌套Q-time容时区间，获取起始站点与下游断线站点组合后根据风险等级判定的调控方式；执行步骤S2：针对每一晶圆制造单元产品Lot检测多层Q-time容时区间内每一作业站点设备状况；执行步骤S3：针对每一晶圆制造单元产品Lot仿真预测多层Q-time容时区间内每个站点对应设备作业程式可作业状况；执行步骤S4：针对每一晶圆制造单元产品Lot仿真预测多层Q-time容时区间内每一作业站点信息；执行步骤S5：储存Q-time容时区间内每一作业站点断线信息，针对调控方式进行标记，形成运行路径RunPath集合，用于晶圆制造单元产品Lot映射Q-time容时区间每一站点，进行判定是否可调度派工；执行步骤S6：根据储存信息形成调度系统，用于指导生产线人员解决断线问题，为确保获得设备及站点实时信息，在实时派工时重新判别是否调度派工。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力微电子有限公司 基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法及系统
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