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申请/专利权人：上海华力微电子有限公司
摘要：本发明提供了一种DFM综合评分方法，包括：对量产产品的各项检查项目的异常风险度和异常发生度进行评分，得到各项检查项目的第一风险度分数、第一发生度分数和第一权重；根据所述权重、第一风险度分数和第一发生度分数得到第一总分数，分析第一总分数和良率的相关性，根据良率要求制定出管控标准；对所述待测产品的各项检查项目的异常风险度和异常发生度进行评分，求得待测产品的各项检查项目的第二风险度分数和第二发生度分数和第二权重；并得到第二总分数；判断第二总分数是否达到管控标准。对待测产品的各检查项目进行打分综合的评分，从而全面对DFM检查结果进行总结，找出方便后续晶圆质量检测的关联性分析。
主权项：1.一种DFM综合评分方法，其特征在于，包括：确定待测产品的工艺平台；对此工艺平台的量产产品的各项检查项目的异常风险度进行评分，并得到各项检查项目的第一风险度分数，对此工艺平台的量产产品的各项检查项目的异常发生度进行评分，并得到各项检查项目的第一发生度分数；分析所述第一风险度分数、第一发生度分数和良率的相关性，以得到各项检查项目的第一权重；根据所述第一权重、第一风险度分数和第一发生度分数得到第一总分数，分析所述第一总分数和良率的相关性，根据良率要求制定出管控标准；对所述待测产品的各项检查项目的异常风险度进行评分，以求得所述待测产品的各项检查项目的第二风险度分数，对所述待测产品的各项检查项目的异常发生度进行评分，以求得所述待测产品的各项检查项目的第二发生度分数；分析所述第二风险度分数、第二发生度分数和良率的相关性，以得到各项检查项目的第二权重；根据所述第二权重、第二风险度分数和第二发生度分数得到第二总分数；根据所述管控标准判断所述第二总分数是否达准。
全文数据：
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百度查询： 上海华力微电子有限公司 DFM综合评分方法
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