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申请/专利权人：中国石油天然气集团有限公司;中国石油集团工程材料研究院有限公司
摘要：本发明公开了一种TiCN梯度结构阻氢涂层及其制备方法，将基材预处理后置于真空反应室，通入氢气和氩气混合气体，对基材和反应室腔体加热至沉积温度后进行保温；通入碳源、氮源、钛源和辅助气体，在基材表面进行化学气相沉积，沉积过程分为两个阶段，其中承载钛源的辅助气体流量恒定，第一沉积阶段碳源的流量大于氮源，第二沉积阶段氮源的流量大于碳源，得到梯度结构的沉积涂层；停止通入碳源、钛源和辅助气体，对沉积涂层进行冷却，冷却过程中停止通入氮源，随后冷却至室温，得到所述TiCN梯度结构阻氢涂层。可有效调控涂层组分变化及晶粒尺寸，涂层的致密度高并降低缺陷，涂层与金属基体间结合力强，从而显著提高基材的阻氢性能。
主权项：1.一种TiCN梯度结构阻氢涂层的制备方法，其特征在于，包括：将基材预处理后置于真空反应室，通入氢气和氩气混合气体，对基材和反应室腔体加热至沉积温度后进行保温；通入碳源、氮源、钛源和辅助气体，在基材表面进行化学气相沉积，沉积过程分为两个阶段，其中承载钛源的辅助气体流量恒定，第一沉积阶段中碳源的流量大于氮源，第二沉积阶段中氮源的流量大于碳源，得到梯度结构的沉积涂层；停止通入碳源、钛源和辅助气体，对沉积涂层进行冷却，冷却过程中停止通入氮源，随后冷却至室温，得到所述TiCN梯度结构阻氢涂层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国石油天然气集团有限公司 中国石油集团工程材料研究院有限公司 一种TiCN梯度结构阻氢涂层及其制备方法
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