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基于锡酸锶阻变薄膜的阻变存储器及制备方法和封装方法 

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申请/专利权人:广东工业大学

摘要:本申请属于存储器件技术领域,尤其涉及基于锡酸锶阻变薄膜的阻变存储器及制备方法和封装方法;本申请提供的阻变存储器包括顶电极、底电极以及锡酸锶阻变薄膜,锡酸锶阻变薄膜设置在顶电极、底电极之间,锡酸锶阻变薄膜是一种钙钛矿结构的氧化物,与传统钙钛矿结构的阻变薄膜相比,稳定性更好,不容易潮解;同时使用聚二甲基硅氧烷封装基于锡酸锶阻变薄膜的阻变存储器后,可以减少外部环境对阻变存储器的不利影响,提高阻变存储器的性能,从而解决了现有技术中钙钛矿阻变薄膜材料容易潮解,导致阻变存储器的稳定性较差的技术问题。

主权项:1.一种基于锡酸锶阻变薄膜的阻变存储器,其特征在于,包括顶电极、底电极、锡酸锶阻变薄膜;所述顶电极和所述底电极之间设置锡酸锶阻变薄膜。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 广东工业大学 基于锡酸锶阻变薄膜的阻变存储器及制备方法和封装方法

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