龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：英福康公司
摘要：一种用于质谱仪的宽范围离子源包括第一部分和定位于第一部分下游的第二部分。第一部分包括阳极和定位在阳极附近并且相对于阳极固定就位的第一丝。第一丝暴露于处理室的压力。第一电子排斥器具有至少部分圆形形状。第二部分包括管状阳极、围绕管状阳极的第二丝、限定开口的提取透镜和用于将离子传导到容积中的聚焦透镜。
主权项：1.一种用于在质谱仪系统中使用宽范围离子源测量高压水平下的工艺气体组分和低压水平下的残余气体的方法，所述方法包括：将质谱仪设置为低压下的操作模式；使用第一丝电流将第一丝加热至预定发射电流；测量残余气体组分；检查真空系统和所述质谱仪系统的清洁度；关闭流向所述第一丝的第一丝电流；将所述质谱仪设置为高压条件下的操作模式；使用第二丝电流将第二丝加热至预定发射电流；测量工艺气体组分；检查所述工艺气体的清洁度；以及监测由所述工艺创建的产品的存在。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 英福康公司 用于质谱仪的宽范围电子轰击离子源
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号