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申请/专利权人：浙江中科尚弘离子装备工程有限公司
摘要：本发明公开了一种用于防止离子轰击靶盘表面的保护装置，包括靶盘，靶盘具有靶盘底板和靶盘顶板，靶盘的内部腔体用于放置晶圆，晶圆通过设置在晶圆固定装置放置在靶盘底板上，在靶盘顶板上设有离子注入口，离子注入机的离子源发射的离子束流经由离子注入口轰击晶圆；在靶盘内部腔体上设置有若干组对射式光耦传感器，当晶圆碎片掉落时，其掉落轨迹会经过对射式光耦传感器的感应区域，对射式光耦传感器感应到晶圆碎片掉落后，会发送信号给离子注入机，离子注入机停止离子束流的注入。本发明通过在靶盘内部设置对射式光耦传感器，当其感应到离子束流在扫描晶圆表面的过程中可产生掉落的碎块时，会发送信号给动力装置和离子注入机，以避免因离子束流击穿晶圆固定装置与晶圆接触的导热层。
主权项：1.一种用于防止离子轰击靶盘表面的保护装置，包括靶盘1，靶盘1具有靶盘底板2和靶盘顶板3，靶盘底板2和靶盘顶板3的主体为开口结构，靶盘底板2和靶盘顶板3连接构成靶盘1，靶盘底板2和靶盘顶板3的开口结构连通构成靶盘1的内部腔体；所述靶盘1的内部腔体用于放置晶圆，晶圆通过设置在晶圆固定装置4放置在靶盘底板2上，在靶盘顶板3上设有离子注入口6，离子注入机的离子源发射的离子束流经由离子注入口6轰击晶圆；在靶盘底板2的中间位置设有旋转轴5，旋转轴5的一端与靶盘底板2传动连接，旋转轴5的另一端用于连接动力装置，动力装置通过旋转轴5带动靶盘1转动；其特征在于，在所述靶盘1内部腔体上设置有若干组对射式光耦传感器，对射式光耦传感器位于靶盘1的内部腔体的顶部和底部，当晶圆碎片掉落时，其掉落轨迹会经过对射式光耦传感器的感应区域，对射式光耦传感器感应到晶圆碎片掉落后，会发送信号给离子注入机，离子注入机停止离子束流的注入。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江中科尚弘离子装备工程有限公司 一种用于防止离子轰击靶盘表面的保护装置和方法
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