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摘要：本发明公开了一种具有电荷收集功能的电子轰击光电探测器单元及阵列，探测器单元包括入射区和电荷收集区，电荷收集区的正面通过注入形成有中心注入区、第一环形注入区和第二环形注入区，第一环形注入区的外沿与第二环形注入区的内沿相接，中心注入区和第一环形注入区之间形成有环形的隔离区。本发明中，通过对探测器单元结构的改进，在探测器单元内部形成漏斗形状的电荷收集电场，有效地提高了电子轰击光电探测器的收集效率，从而可以减小电荷收集端的面积，进而降低节点电容，提高电荷转换增益和信号处理带宽能力；并能消除因电子扩散造成的信号串扰，具有高电荷收集效率、高转换增益、高带宽和低串扰的优良性能。
主权项：1.一种具有电荷收集功能的电子轰击光电探测器单元，其特征在于：包括入射区和设置在入射区上的电荷收集区，所述入射区的背面形成电子轰击入射面；所述电荷收集区的正面通过注入形成有中心注入区、第一环形注入区和第二环形注入区，所述第一环形注入区设置在第二环形注入区的内部，且所述第一环形注入区的外沿与第二环形注入区的内沿相接，所述中心注入区设置在第一环形注入区的内部，且所述中心注入区和第一环形注入区之间形成有环形的隔离区；所述入射区连接有第一电极，所述中心注入区连接有第二电极，所述第二环形注入区连接有第三电极，所述第一环形注入区连接有第四电极。
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百度查询： 中国电子科技集团公司第四十四研究所 具有电荷收集功能的电子轰击光电探测器单元及阵列
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