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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
申请日：2022-03-31
公开（公告）日：2024-04-09
公开（公告）号：CN114657345B
专利技术分类：
专利摘要：本发明属于靶材制造技术领域，公开了铁靶材或铁镍合金靶材的晶粒细化方法，包括以下步骤：（1）一次加热保温；（2）热锻造；（3）二次加热保温；（4）热轧；（5）热处理。采用热处理和热加工相结合的方式细化铁靶材和铁镍合金靶材的晶粒，过程工艺简单可控，晶粒的细化效果好。
专利权项：1.一种铁靶材或铁镍合金靶材的晶粒细化方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）一次加热保温：将铸锭加热至再结晶温度以上，保温一段时间；（2）热锻造：一次加热保温后的铸锭于空气锤中热锻造，所述热锻造为三向锻造；热锻造温度为600-800℃；（3）二次加热保温：热锻造后的铸锭加热至再结晶温度以上，保温一段时间；（4）热轧：热轧二次加热保温后的铸锭；热轧的温度为再结晶温度以上；所述热轧的总变形量为80%-90%，分三道次轧制，第一道次的变形量为25%-35%，第二道次的变形量为25%-35%，第三道次的变形量为25%-35%；（5）热处理：将热轧后的铸锭加热到再结晶温度以上，然后退火，得到靶材；所述再结晶温度以上的温度区间为600-800℃。
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 铁靶材、铁镍合金靶材以及靶材的晶粒细化方法
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