龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：芯联集成电路制造股份有限公司
申请日：2024-04-07
公开（公告）日：2024-05-07
公开（公告）号：CN117995730A
专利技术分类：.专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置[2006.01]
专利摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，提供了一种键合装置、键合系统及键合方法，其中键合装置包括：相对设置的第一键合单元和第二键合单元以及第一真空单元；所述第一键合单元包括第一键合腔室和第一键合组件，所述第一键合组件设置于所述第一键合腔室内；所述第二键合单元包括第二键合腔室和第二键合组件，所述第二键合组件设置于所述第二键合腔室内，所述第一真空单元与所述工艺腔室连通用于抽真空。如此配置，键合装置同时具备键合以及固定晶圆的作用，不需要第三方夹持结构的参与，因此，可在晶圆全部区域施加完整的压力，保证晶圆的结合力的均匀分布，提高晶圆的键合效果。
专利权项：1.一种键合装置，其特征在于，包括：第一键合单元、第二键合单元和第一真空单元；所述第一键合单元和所述第二键合单元沿第一方向排列设置；所述第一键合单元包括第一键合腔室和第一键合组件，所述第一键合组件设置于所述第一键合腔室内；所述第二键合单元包括第二键合腔室和第二键合组件，所述第二键合组件设置于所述第二键合腔室内；所述第一键合组件具有用于吸附第一晶圆的第一吸附端，所述第二键合组件具有用于吸附第二晶圆的第二吸附端，所述第一吸附端和所述第二吸附端沿所述第一方向相对设置；所述第一键合腔室的开口端和所述第二键合腔室的开口端沿所述第一方向相对设置；所述第一键合单元和所述第二键合单元中至少一者沿所述第一方向运动的设置，以使得所述第一键合腔室的开口端和所述第二键合腔室的开口端可密封相抵形成封闭的工艺腔室；所述第一真空单元与所述工艺腔室连通用于抽真空。
百度查询： 芯联集成电路制造股份有限公司 键合装置、键合系统及键合方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号