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申请/专利权人：上海积塔半导体有限公司
摘要：本说明书实施例提供一种lamflex机台手臂检测装置，包括：机械手臂，机械手臂包括安装臂和托臂，机台通过安装臂带动托臂运动进入晶圆盒托取晶圆；电容位移传感器，以在托臂进入晶圆盒时检测出托臂底部与下方晶圆之间的距离；信号处理发送组件，信号处理发送组件通过电缆与电容位移传感器之间相连接；数据接收显示组件，数据接收显示组件与信号处理发送组件之间无线连接。通过在托臂的底部安装电容位移传感器，电容位移传感器能够在不与晶圆接触的情况下测量出托臂与晶圆之间的距离，避免托臂与晶圆之间发生接触造成晶圆划伤等风险。
主权项：1.一种lamflex机台手臂检测装置，其特征在于，包括：机械手臂，所述机械手臂包括安装臂和托臂，所述安装臂安装于所述机台上，所述机台通过所述安装臂带动所述托臂运动进入晶圆盒托取晶圆；电容位移传感器，所述电容位移传感器安装于所述托臂底部，以在所述托臂进入晶圆盒时检测出所述托臂底部与下方晶圆之间的距离；信号处理发送组件，所述信号处理发送组件安装于所述安装臂上，所述信号处理发送组件通过电缆与所述电容位移传感器之间相连接；数据接收显示组件，所述数据接收显示组件与所述信号处理发送组件之间无线连接；其中，所述信号处理发送组件对所述电容位移传感器传输的信号进行初步处理，并将处理得到的数据发送给所述数据接收显示组件，所述数据接收显示组件对接受到的数据进行处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海积塔半导体有限公司 一种lam flex机台手臂检测装置
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