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申请/专利权人：天虹科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种开合式遮蔽机构，主要包括一第一及一第二遮蔽板、至少一驱动马达、一轴封装置及两个感测单元，其中驱动马达通过轴封装置的外管体及轴体分别连接第一及第二遮蔽板，并驱动第一及第二遮蔽板在一开启状态及一遮蔽状态之间切换。两个感测单元分别用以感测外管体转动至一第一位置及一第二位置，其中外管体转动到第一位置时第一遮蔽板操作在开启状态，而外管体转动到第二位置时第一遮蔽板则操作在遮蔽状态。通过感测单元使用可得知驱动马达是否确实通过外管体带动第一遮蔽板操作在遮蔽状态，可避免发生遮蔽板未操作在预设状态的情形。
主权项：1.一种薄膜沉积机台，其特征在于，包括：一反应腔体，包括一容置空间；一承载盘，位于该容置空间内，并用以承载至少一基板；及一开合式遮蔽机构，包括：一第一遮蔽板，位于该容置空间内；一第二遮蔽板，位于该容置空间内；一驱动装置，包括：至少一驱动马达；一轴封装置，包括一外管体及一轴体，该轴体位于该外管体内，其中该驱动马达通过该外管体连接该第一遮蔽板，并通过该轴体连接该第二遮蔽板，该驱动马达分别通过该外管体及该轴体带动该第一遮蔽板及该第二遮蔽板朝相反的方向摆动，使得该第一遮蔽板及该第二遮蔽板在一开启状态及一遮蔽状态之间切换，其中该遮蔽状态的该第一遮蔽板靠近该第二遮蔽板，并遮挡该承载盘，而该开启状态的该第一遮蔽板及该第二遮蔽板之间则形成一间隔空间；两个第一感测单元，与该外管体相邻，该两个第一感测单元之间具有一间距，并分别用以感测该外管体转动至一第一位置及一第二位置，其中该外管体转动至该第一位置时，该第一遮蔽板操作在该开启状态，而该外管体转动至该第二位置时，该第一遮蔽板操作在该遮蔽状态；及两个第二感测单元与该轴体相邻，该两个第二感测单元之间具有一间距，并分别用以感测该轴体转动至一第三位置及一第四位置，其中该轴体转动至该第三位置时，该第二遮蔽板操作在该开启状态，而该轴体转动至该第四位置时，该第二遮蔽板操作在该遮蔽状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天虹科技股份有限公司 开合式遮蔽机构及薄膜沉积机台
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