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一种半导体紫光紫外激光器 

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申请/专利权人:安徽格恩半导体有限公司

摘要:本发明提出了一种半导体紫光紫外激光器,包括从下至上依次设置的衬底、下限制层、下波导层、有源层、上波导层和上限制层,所述下限制层的Al元素的峰值位置和AlSi元素比例的峰值位置往衬底方向和有源层方向均呈下降趋势。本发明通过设计半导体激光器中下限制层中Al元素和AlSi元素比例往衬底方向和有源层方向的变化趋势,从而增大下限制层的折射率差异,降低光场耗散,降低内部光学损耗,抑制光场模式泄漏到衬底,提升远场图像FFP质量。

主权项:1.一种半导体紫光紫外激光器,包括从下至上依次设置的衬底、下限制层、下波导层、有源层、上波导层和上限制层,其特征在于,所述下限制层的Al元素的峰值位置和AlSi元素比例的峰值位置往衬底方向和有源层方向均呈下降趋势。

全文数据:

权利要求:

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