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一种碳/碳复合材料及其制备方法以及PECVD承载框 

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申请/专利权人:上海康碳复合材料科技有限公司;上海康碳创达新材料科技有限公司

摘要:本发明涉及碳材料技术领域,提供了一种碳碳复合材料及其制备方法以及PECVD承载框。本发明将碳纤维网胎依次进行铺层和针刺,得到针刺预制体,再通过第一浸渍、模压、第一碳化、第二浸渍、第二碳化和石墨化处理,得到碳碳复合材料;所得碳碳复合材料通过精细机加工,即可得到PECVD承载框。本发明采用网胎为原料,价格相对便宜,属于一种低成本的制备工艺;本发明提供的PECVD承载框和传统石墨承载框以及本领域普通的碳碳承载框相比,体积密度更低,且力学性能更好,能够适应PECVD复杂的工艺环境,更换频率低,使用周期长。

主权项:1.一种碳碳复合材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:将碳纤维网胎依次进行铺层和针刺,得到针刺预制体;将所述针刺预制体在树脂中进行第一浸渍,得到预浸料;将所述预浸料铺层后进行模压,得到板坯;将所述板坯进行第一碳化,得到碳化板坯;将所述碳化板坯在树脂中进行第二浸渍,之后依次进行固化和第二碳化,得到碳碳板坯;将所述碳碳板坯进行石墨化处理,得到所述碳碳复合材料。

全文数据:

权利要求:

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