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申请/专利权人：捷造科技(宁波)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种新型PECVD子载板，包括：具有一定宽度的板条形成的外部闭合内部中空的载板框架，在所述载板框架的内部中空区域设置网状钨丝，该网状钨丝形成多个十字交叉扣形状，在所述载板框架的外部闭合的板条区域之内以一定间距设置多个放置空间，所述放置空间内安装弹簧张紧机构，所述弹簧张紧机构包括U型块，所述U型块的开口部位朝外，在所述U型块的中空区域夹设压簧，所述十字交叉扣形状的钨丝的出线部穿过所述压簧与所述板条的边缘进行固定。本实用新型的优点是，结构简单实现自动的张紧补偿，有效解决载板在传送机构之间过渡时的抖动，减少破片、崩边概率。
主权项：1.一种新型PECVD子载板，其特征在于，包括：具有一定宽度的板条形成的外部闭合内部中空的载板框架，在所述载板框架的内部中空区域设置网状钨丝，该网状钨丝形成多个十字交叉扣形状，在所述载板框架的外部闭合的板条区域之内以一定间距设置多个放置空间，所述放置空间内安装弹簧张紧机构，所述弹簧张紧机构包括U型块，所述U型块的开口部位朝外，在所述U型块的中空区域夹设压簧，所述十字交叉扣形状的钨丝的出线部穿过所述压簧与所述板条的边缘进行固定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 捷造科技(宁波)有限公司 一种新型PECVD子载板
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