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申请/专利权人：浙江晶盛光子科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种管式PECVD设备，属于太阳能电池生产技术领域。管式PECVD设备包括管式炉、电极杆组件和石墨舟载体，管式炉包括带有开口的炉体和可拆卸连接于开口处的炉门；电极杆组件包括两个第一电极杆和两个第二电极杆，两个第一电极杆设于炉体，两个第二电极杆设于炉门；石墨舟载体设于管式炉内，第一电极杆和第二电极杆插接于石墨舟载体的两端，电极杆组件与外界电源连接以在石墨舟载体上形成加热回路和放电回路。本实用新型的管式PECVD设备，简化了炉体的制备流程，以降低成本，方便后续维修和维护，避免影响设备产能。
主权项：1.一种管式PECVD设备，其特征在于，包括：管式炉1，包括带有开口的炉体11和可拆卸连接于所述开口处的炉门12；电极杆组件，包括两个第一电极杆2和两个第二电极杆3，两个所述第一电极杆2设于所述炉体11，两个所述第二电极杆3设于所述炉门12；石墨舟载体4，设于所述管式炉1内，所述第一电极杆2和所述第二电极杆3插接于所述石墨舟载体4的两端，所述电极杆组件与外界电源连接以在所述石墨舟载体4上形成加热回路A和放电回路B。
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权利要求：
百度查询： 浙江晶盛光子科技有限公司 管式PECVD设备
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