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摘要：本实用新型公开了一种气冷静电卡盘包括：基座；还包括设置在所述基座内且分区设置的多组冷却道；每组冷却道包括：气道，开设在所述基座内，由多个散热鳍片组成；涡轮管，安装在所述基座底部，具有冷端及热端，所述冷端与气道连通。本实用新型通过在基座底部设计涡轮管，通过涡轮管冷端对基座进行冷却；通过涡轮管的布局和基座本身的散热设计达到分区温控的效果；使用中无需另外的制冷机和冷却液，只需通入压缩空气；可以通过压缩空气的流量线性调节制冷的效果。
主权项：1.一种气冷静电卡盘，其特征在于，包括：基座；其特征在于，还包括设置在所述基座内且分区设置的多组冷却道；每组冷却道包括：气道，开设在所述基座内，由多个散热鳍片组成；涡轮管，安装在所述基座底部，具有冷端及热端，所述冷端与气道连通。
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百度查询： 无锡宜恰高技术有限公司 一种气冷静电卡盘
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