龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：本文提供用于在具有混合材料堆叠件的衬底上蚀刻高深宽比特征的方法和装置。本方法涉及使用低等离子体功率、高室压强和或低温，同时在使用氟碳气体进行蚀刻期间将衬底暴露于含金属添加气体。
主权项：1.一种用于处理衬底的方法，所述方法包含：提供具有混合材料堆叠件的衬底；将所述混合材料堆叠件暴露于一或多种蚀刻气体，并在第一等离子体功率下点燃第一等离子体，以将特征部分地蚀刻至所述混合材料堆叠件而形成部分地被蚀刻的混合材料堆叠件；以及将所述部分地被蚀刻的混合材料堆叠件暴露于第二等离子体，所述第二等离子体是在第二等离子体功率下由点燃含金属添加气体产生的，其中所述第二等离子体功率小于所述第一等离子体功率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 高深宽比等离子体蚀刻中的含金属表面的改性
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号