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一种扩晶设备及扩晶方法 

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申请/专利权人:深圳市博辉特科技有限公司

摘要:本发明涉及一种扩晶设备及扩晶方法,包括底板架、矩形框架和扩晶模块,所述底板架上端中部安装有矩形框架,矩形框架前端设置有开口,矩形框架内壁上均匀设置有离子风机,矩形框架中部安装有扩晶模块。本发明中设置了内扩晶环和外扩晶环,内扩晶环和外扩晶环之间相互配合卡紧,使得蓝膜可以准确的卡接在外扩晶环与内扩晶环之间的缝隙内,避免蓝膜发生滑动的现象,提高蓝膜与外扩晶环和内扩晶环之间的摩擦力。

主权项:1.一种扩晶设备,包括底板架1、矩形框架2和扩晶模块3,其特征在于,所述底板架1上端中部安装有矩形框架2,矩形框架2前端设置有开口,矩形框架2内壁上均匀设置有离子风机,矩形框架2中部安装有扩晶模块3,其中:所述扩晶模块3包括工作台31、导料单元32、顶料单元33、安装架34、压紧板35、连接架36和压料单元37,所述底板架1上安装有工作台31,工作台31上端安装有导料单元32,工作台31中部设置有环形槽,环形槽内对称安装有顶料单元33,工作台31上端对称安装有安装架34,安装架34呈U型结构,安装架34下端之间安装有压紧板35,安装架34上端中部安装有连接架36,连接架36之间安装有压料单元37;所述顶料单元33包括转动杆331、滑块332、铰接架333、顶料板334和内扩晶环335,所述环形槽内通过轴承安装有转动杆331,转动杆331上对称设置有外螺纹,两段外螺纹的开设方向相反,每段外螺纹上通过螺纹配合的方式连接有滑块332,滑块332上端通过销轴安装有铰接架333,铰接架333呈十字交叉形结构,铰接架333上端之间通过销轴安装有顶料板334,顶料板334上端设置有安装槽,安装槽内设置有内扩晶环335;所述压料单元37包括滑动架371、导轨372、驱动气缸373、翻料组件374、连接板375、压料架376和外扩晶环377,所述连接架36中部为空心结构,连接架36内部对称安装有导轨372,导轨372之间滑动设置有滑动架371,滑动架371上端与连接架36之间安装有驱动气缸373,滑动架371之间设置有连接板375,滑动架371中部安装有翻料组件374,翻料组件374之间安装有连接板375,连接板375上端中部安装有压料架376,压料架376上端中部安装有外扩晶环377。

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