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申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司

摘要：本申请提供一种探针组件及探针台。探针组件包括：多个探针卡，探针卡包括多个探针，探针能够接触晶圆并对晶圆进行检测；导向组件，导向组件包括沿第一方向延伸的第一导向件及沿第二方向延伸的第二导向件，第一方向垂直于所述第二方向，第二导向件滑动连接于第一导向件，且第二导向件承载多个探针卡；及多个针座组件，多个针座组件与多个探针卡一一对应设置，针座组件滑动连接于第二导向件，针座组件还包括第一微调件，第一微调件连接于探针卡，并能够调节探针卡沿第三方向及第三方向的反方向进行摆动，第三方向所在的平面垂直于第一方向且平行于第二方向。所述探针能够与被测样品进行良好的接触，进而提升探针台的测试效率和测试精确性。

主权项：1.一种探针组件，其特征在于，所述探针组件包括：多个探针卡，所述探针卡包括多个探针，所述探针能够接触晶圆并对晶圆进行检测；导向组件，所述导向组件包括沿第一方向延伸的第一导向件及沿第二方向延伸的第二导向件，所述第一方向垂直于所述第二方向，所述第二导向件滑动连接于所述第一导向件，且所述第二导向件承载所述多个探针卡；及多个针座组件，多个针座组件与多个探针卡一一对应设置，所述针座组件的一端连接于所述探针卡，所述针座组件的另一端滑动连接于所述第二导向件，所述针座组件包括第一微调件、第二微调件及第三微调件，所述第二微调件滑动连接于所述第二导向件，并能够调节所述探针卡沿第一方向的移动位置，所述第三微调件连接于所述第二微调件，并能够调节所述探针卡沿第二方向的移动位置，所述第一微调件的一端连接于所述第三微调件，所述第一微调件的另一端连接于所述探针卡，并能够调节所述探针卡沿第三方向及第三方向的反方向进行摆动，所述第三方向所在的平面垂直于所述第一方向且平行于所述第二方向；其中，所述第一微调件包括转动组件、第一弹性件及旋钮组件，所述转动组件连接于所述探针卡，并能够带动所述探针卡沿第三方向及第三方向的反方向进行摆动，所述转动组件具有沿第二方向间隔排布的第一端侧及第二端侧，所述转动组件的转动轴设置于所述第一端侧及所述第二端侧之间；所述第一弹性件设置于所述转动组件背离所述探针卡的一侧，所述第一弹性件处于压缩状态，并抵接于所述转动组件的第一端侧；及所述旋钮组件设置于所述转动组件背离所述探针卡的一侧，所述旋钮组件间隔设置于所述第一弹性件，并抵接于所述转动组件的第二端侧，当所述旋钮组件沿着所述旋钮组件指向所述转动组件的方向推动所述转动组件时，所述转动组件能够带动所述探针卡沿第三方向转动，当所述旋钮组件沿着所述转动组件指向所述旋钮组件的方向移动时，所述转动组件能够在所述第一弹性件的推动作用下带动所述探针卡沿着所述第三方向的反方向转动；所述第一微调件还包括第一调整座，所述转动组件包括第二调整座及轴承，所述第二调整座设置于所述第一调整座邻近所述探针卡的一侧，所述第二调整座连接于所述探针卡，所述第二调整座固定连接于所述轴承，所述轴承能够沿第三方向及第三方向的反方向转动，且所述第一调整座转动连接于所述轴承，并对所述轴承限位；所述旋钮组件包括第一微调旋钮及固定件，所述固定件穿设于所述第一调整座，并抵接至所述第二调整座的第二端侧，所述第一微调旋钮设置于所述固定件背离所述第二调整座的一侧，并能够通过所述固定件推动所述第二调整座沿第三方向转动。

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