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申请/专利权人：合肥海滨半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了半导体制备扩散炉，具体涉及半导体制备技术领域，包括机架上安装有保温筒、驱动机构、第一位移架和第二位移架，保温筒内套设有扩散炉本体，第一位移架上固定安装有支撑架，第二位移架上安装有回路管、输气管、吸气管和打气机构，驱动机构用于同时驱动第一位移架和第二位移架向相反方向移动，打气机构用于对回路管内的气体进行加压或减压；本申请通过设置第一位移架、第二位移架、上齿条、下齿条、齿轮和两个转杆，使得第一位移架和第二位移架能够同时向扩散炉本体靠近或远离，从而能够完成晶片的填入和输出，以及输气管和吸气管的导入和导出，避免输气管和吸气管长期固定在扩散炉本体内导致结构破坏。
主权项：1.半导体制备扩散炉，包括机架1，其特征在于：所述机架1上固定安装有保温筒2，所述保温筒2内套设有扩散炉本体3，机架1上安装有驱动机构，所述驱动机构的两端分别安装有第一位移架7和第二位移架8，所述第一位移架7临近扩散炉本体3的一侧固定安装有支撑架13，所述第二位移架8上安装有回路管19，第二位移架8临近扩散炉本体3的一侧固定连通有输气管16和吸气管17，第二位移架8另一侧安装有打气机构18，所述驱动机构用于同时驱动第一位移架7和第二位移架8向相反方向移动，所述打气机构18用于对回路管19内的气体进行加压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥海滨半导体科技有限公司 半导体制备扩散炉
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