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申请/专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要：本发明实施例公开了一种张网控制方法，张网控制系统执行该张网控制方法，张网控制系统包括视觉测量装置和张网设备；张网控制方法包括：张网设备控制物料移动至预定张网位置；物料具有z组标记，预定张网位置处一一对应的设置有与每组标记对应的目标位置；视觉测量装置测量第i组标记所在位置与第i组标记所对应的第i目标位置的第i位置偏差，根据第i位置偏差参数计算第i对准补偿量；张网设备根据第i对准补偿量对物料进行补偿调节，使物料移动至第i目标位置；至少一个对准补偿量的对准精度小于前一对准补偿量的对准精度。本发明中，张网流程多阶段控制，范围逐渐缩小，且精度逐步提升，使得张网过程由粗到细控制，提升了张网效率和精度。
主权项：1.一种张网控制方法，其特征在于，张网控制系统执行该张网控制方法，所述张网控制系统包括视觉测量装置和张网设备；所述张网控制方法包括：所述张网设备控制物料移动至预定张网位置；所述物料具有z组标记，所述预定张网位置处一一对应的设置有与每组标记对应的目标位置；所述视觉测量装置测量第i组标记所在位置与所述第i组标记所对应的第i目标位置的第i位置偏差，根据所述第i位置偏差参数计算第i对准补偿量；所述张网设备根据所述第i对准补偿量对所述物料进行补偿调节，使所述物料移动至所述第i目标位置；i＝1,2,…,z，z为5；z个对准补偿量的对准精度中，至少1个对准补偿量的对准精度小于前一对准补偿量的对准精度；其中，第1组标记包括位于所述物料两端的至少两个粗对准标记；第2组标记包括位于所述物料中最边缘两个图形区外围的四个精对准标记；第3组标记包括位于所述物料中图形区外围的多个粗张网标记；第4组标记包括位于所述物料中图形区的顶角位置处的多个像素孔标记；第5组标记包括位于所述物料中图形区的中心位置处和边界位置处的多个像素孔标记。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种张网控制方法
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