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申请/专利权人：厦门乾照半导体科技有限公司

摘要：本发明提供一种具有ODR的倒装VCSEL芯片及其制作方法，芯片包括：导电层；设置于所述导电层上的金属反射层；分别设置于所述金属反射层远离所述导电层一侧的欧姆接触层和绝缘层，所述绝缘层环绕所述欧姆接触层分布；设置于所述欧姆接触层和所述绝缘层远离所述金属反射层一侧的第一DBR层；设置于所述第一DBR层远离所述欧姆接触层和所述绝缘层一侧的有源层；设置于所述有源层远离所述第一DBR层一侧的第二DBR层；以及设置于所述第二DBR层远离所述有源层一侧的电极。本发明通过欧姆接触层限制电流，绝缘层和金属反射层构成ODR结构实现全反射，不受氧化层限制、散热性好，并且制作工艺简单。

主权项：1.一种具有ODR的倒装VCSEL芯片，其特征在于，包括：导电层；设置于所述导电层上的金属反射层；分别设置于所述金属反射层远离所述导电层一侧的欧姆接触层和绝缘层，所述绝缘层环绕所述欧姆接触层分布；设置于所述欧姆接触层和所述绝缘层远离所述金属反射层一侧的第一DBR层；设置于所述第一DBR层远离所述欧姆接触层和所述绝缘层一侧的有源层；设置于所述有源层远离所述第一DBR层一侧的第二DBR层；以及设置于所述第二DBR层远离所述有源层一侧的电极；其中，所述导电层的材质包括金属；所述欧姆接触层包括GaAs层。

全文数据：一种具有ODR的倒装VCSEL芯片及其制作方法技术领域本发明涉及VCSEL芯片技术领域，更具体地说，尤其涉及一种具有ODR的倒装VCSEL芯片及其制作方法。背景技术随着科学技术的不断发展，各种各样的VCSEL芯片已广泛应用于人们的日常生活、工作以及工业中，为人们的生活带来了极大的便利。垂直腔面发射激光器（VerticalCavitySurfaceEmittingLaser，VCSEL）有别于LED（LightEmittingDiode，发光二极管）和LD（LaserDiode，激光二极管）等其他光源，具有体积小、圆形输出光斑、单纵模输出、阈值电流小、价格低廉且易集成大面积阵列等优点，广泛应用于光通信、光互连和光存储等领域。现有的VCSEL芯片通常包括GaAs衬底1’、在GaAs衬底1’上依次设置的N-DPR层2’、有源层3’、氧化层4’、P-DBR层5’和GaAs层6’，如图1所示。传统的制作工艺是一次沉积好外延后进行ICP蚀刻出孔或台阶，然后在孔或台阶内进行氧化。但是该方案受氧化层限制，制作工艺各工序的精度要求很高，良率参差不齐，并且具有散热性差、饱和电流低等缺点。发明内容有鉴于此，本发明的目的为：提供一种具有ODR的倒装VCSEL芯片及其制作方法，无需设置氧化层，能够降低制作工艺的难度，并且有效地提高散热性及饱和电流。为实现上述目的，本发明采用的技术方案为：一种具有ODR的倒装VCSEL芯片，包括：导电层；设置于所述导电层上的金属反射层；分别设置于所述金属反射层远离所述导电层一侧的欧姆接触层和绝缘层，所述绝缘层环绕所述欧姆接触层分布；设置于所述欧姆接触层和所述绝缘层远离所述金属反射层一侧的第一DBR层；设置于所述第一DBR层远离所述欧姆接触层和所述绝缘层一侧的有源层；设置于所述有源层远离所述第一DBR层一侧的第二DBR层；以及设置于所述第二DNR层远离所述有源层一侧的电极。可选的，所述导电层的材质包括金属。可选的，所述导电层的材质包括铜或铜钨合金。可选的，所述导电层的厚度为100-200um。可选的，所述第一DBR层为P-DBR层，所述第二DBR层为N-DBR层。可选的，所述欧姆接触层包括GaAs层。本发明采用的另一个技术方案为：一种具有ODR的倒装VCSEL芯片的制作方法，对应上述具有ODR的倒装VCSEL芯片，包括：提供一衬底；于所述衬底上从靠近所述衬底至远离所述衬底的方向依次生长第二DBR层、有源层、第一DBR层和欧姆接触层；蚀刻所述欧姆接触层的外围区域至露出所述第一DBR层；于所述第一DBR层靠近所述欧姆接触层的一侧环绕所述欧姆接触层沉积绝缘层；于所述欧姆接触层和所述绝缘层远离所述第一DBR层的一侧覆盖金属反射层；于所述金属反射层远离所述欧姆接触层和所述绝缘层的一侧设置导电层；去除所述衬底；于所述第二DBR层远离所述有源层的一侧设置电极。可选的，于所述衬底上生长第二DBR层之前，还包括：于所述衬底上生长蚀刻截止层，所述第二DBR层生长于所述蚀刻截止层远离所述衬底的一侧。可选的，于所述金属反射层远离所述欧姆接触层和所述绝缘层的一侧设置导电层具体包括：于所述金属反射层远离所述欧姆接触层和所述绝缘层的一侧蒸镀一材质为金属的过渡层；于所述过渡层远离所述金属反射层的一侧沉积与所述过渡层材质相同的导电层。可选的，设置所述导电层之后，对所述导电层进行加压和或加热。由上述可知，本发明提供的具有ODR的倒装VCSEL芯片，利用欧姆接触层进行电流限制，从而无需设置氧化层；同时，绝缘层和金属反射层构成ODR（全反射）结构，具有散热作用的第一DBR层中所需的高低折射率材料对数减少，即第一DBR层的厚度减少，并且去除了衬底，从而有效提高了散热性，增大了芯片的饱和电流和大电流下的功率输出。本发明提供的具有ODR的倒装VCSEL芯片的制作方法，制作工艺简单，通过对欧姆接触层进行蚀刻，只保留中心区域来实现对电流的限制；并设置绝缘层和金属反射层构成ODR结构实现全反射以减少第一DBR层的厚度，以及通过去除衬底，将外延结构转移至导电层，提高芯片的散热性。附图说明为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为现有技术中VCSEL芯片的结构示意图；图2为本发明实施例的具有ODR的倒装VCSEL芯片的结构示意图；图3-图9为本发明实施例的具有ODR的倒装VCSEL芯片的制作方法中各步骤对应的结构示意图。图标：1’、GaAs衬底；2’、N-DPR层；3’、有源层；4’、氧化层；5’、P-DBR层；6’、GaAs层；1、导电层；2、金属反射层；3、欧姆接触层；4、绝缘层；5、第一DBR层；6、有源层；7、第二DBR层；8、电极；9、衬底；10、蚀刻截止层；11、过渡层。具体实施方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。实施例一如图2所示为本发明实施例提供的一种具有ODR的倒装VCSEL芯片，包括导电层1、金属反射层2、欧姆接触层3、绝缘层4、第一DBR层5、有源层6、第二DBR层7和电极8，其中有源层6包括但不限于MQW，所述第一DBR层5为P-DBR层，所述第二DBR层7为N-DBR层。所述金属反射层2设于所述导电层1上；所述欧姆接触层3设于所述金属反射层2远离所述导电层1一侧的中心区域，所述绝缘层4环绕所述欧姆接触层3设于所述金属反射层2远离所述导电层1的一侧；所述第一DBR层5设于所述欧姆接触层3和所述绝缘层4远离所述金属反射层2的一侧；所述有源层6设于所述第一DBR层5远离所述欧姆接触层3和所述绝缘层4的一侧；所述第二DBR层7设于所述有源层6远离所述第一DBR层5的一侧；所述电极8设于所述第二DBR层7离所述有源层6的一侧。实施例二本发明的另一实施例提供一种具有ODR的倒装VCSEL芯片，与上述实施例一的区别在于，所述N-DBR层中的高低折射率材料对数为5-20对，优选20对，所述P-DBR层中的高低折射率材料对数为5-18对，优选18对。所述金属反射层为Au层，所述欧姆接触层为GaAs层，所述绝缘层为SiO2层。从上述描述可知，本实施例的具有ODR的倒装VCSEL芯片，由于只有欧姆接触的GaAs层会导电，电流高密度注入位于金属反射层中心区域的GaAs层，实现对电流的限制。SiO2层和Au层构成ODR结构，实现全反射，从而P-DBR层中的高低折射率材料对数能够减少为5-18对，N-DBR层中的高低折射率材料对数能够减少为5-20对。而传统结构的N-DBR层的高低折射率材料为40对左右，P-DBR层的高低折射率材料为20对左右。同时，由于本发明光是从N-DBR层射出，P-DBR层具有散热作用，因此本发明P-DBR层的厚度远远小于传统结构中用于散热的N-DBR层的厚度，从而在很大程度上提高了芯片的散热性能，进而增大了芯片的饱和电流和大电流下的功率输出。实施例三本发明的另一实施例提供一种具有ODR的倒装VCSEL芯片，与上述实施例二的区别在于，所述导电层的材质为铜，该导电层的厚度为100-200um。该厚度设置使得导电层能够作为衬底使用，而铜散热效果非常好，铜材质的导电层作为电极和衬底使用，从而去除了传统结构中的衬底，进一步增大了芯片的饱和电流和大电流下的功率输出。当然，所述导电层的材质并不限于铜，例如还可以是铜钨合金。实施例四本发明的另一实施例提供一种具有ODR的倒装VCSEL芯片的制作方法，包括以下步骤：步骤1：如图3所示，提供一衬底9，在所述衬底9上从靠近所述衬底9至远离所述衬底9的方向依次生长蚀刻截止层10、第二DBR层7、有源层6、第一DBR层5和欧姆接触层3；具体的，所述欧姆接触层3为GaAs层；所述第二DBR层7为N-DBR层，所述N-DBR层中的高低折射率材料对数为5-20对，优选20对；所述第一DBR层5为N-DBR层，所述P-DBR层中的高低折射率材料对数为5-18对，优选18对；这里通过在衬底9上先生长蚀刻截止层10再生长外延结构，使得衬底9能够很好地去除；步骤2：如图4所示，蚀刻所述欧姆接触层3的外围区域直至所述露出所述第一DBR层5，只留下欧姆接触层3的中心区域；步骤3：如图5所示，在所述第一DBR层5靠近所述欧姆接触层3的一侧环绕所述欧姆接触层3沉积绝缘层4，具体的，所述绝缘层3为SiO2层；步骤4：如图6所示，在所述欧姆接触层4和所述绝缘层3远离所述第一DBR层5的一侧沉积金属反射层2，具体的，该金属反射层2为Au层；步骤5：如图7所示，在金属反射层2远离所述欧姆接触层3和所述绝缘层4的一侧电镀一层材质为铜的导电层1，直至该导电层1的厚度为100-200um，优选为150um；步骤6：如图8所示，去除所述衬底9，然后除掉蚀刻截止层10，具体的，可使用化学溶液来去除所述衬底9和所述蚀刻截止层10；步骤7：在所述第二DBR层7远离所述有源层6的一侧制作N型的电极8，制得的芯片结构示意图如图2所示。从上述描述可知，本实施例的具有ODR的倒装VCSEL芯片的制作方法，通过蚀刻欧姆接触层的外围区域，使得电流集中注入位于金属反射层中心区域的欧姆接触层来实现电流限制，克服了氧化层的限制，降低了工艺难度；DBR层厚度减少以及通过将芯片从原衬底转移至铜质导电层的方式大幅度提高芯片的散热性能，增大芯片的饱和电流和大电流下的功率输出。整个过程操作简单，工艺窗口大。实施例五本发明的另一实施例提供一种具有ODR的倒装VCSEL芯片的制作方法，与上述实施例四的区别在于：上述步骤5中，电镀导电层1之前，在金属反射层2远离所述欧姆接触层3和所述绝缘层4的一侧的表面蒸镀一层铜层作为过渡层11，然后再在该过渡层11远离该金属反射层2的一侧电镀厚度为100-200um的铜层作为导电层1。这样先在金属反射层上蒸镀一层导电层的材料，使得后续导电层容易沉积。如图9所示为本实施所述的方法制得的芯片结构示意图，应当理解的是，本文附图中各层的图案仅是为了以示区分，而并非是对本发明材质的限定。实施例六本发明的另一实施例提供一种具有ODR的倒装VCSEL芯片的制作方法，与上述实施例五的区别在于：步骤5电镀导电层1之后，步骤6去除衬底9之前，还包括对所述导电层1进行加压和或加热处理，使得导电层坚固。需要说明的是，上述各实施例中导电层的材质为铜、金属反射层为Au层、欧姆接触层为GaAs层、绝缘层为SiO2层只是本实施例的优选设置，而并不限于上述设置，例如导电层还可以是Ag层、Al层等。综上所述，本发明提供的具有ODR的倒装VCSEL芯片及其制作方法，不受氧化层限制，去除了衬底以及DBR层较薄，使得芯片具有散热性能良好、饱和电流高和大电流下的功率输出高的优点。同时降低了芯片的工艺难度和放大了工艺窗口。需要说明的是，本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

权利要求：1.一种具有ODR的倒装VCSEL芯片，其特征在于，包括：导电层；设置于所述导电层上的金属反射层；分别设置于所述金属反射层远离所述导电层一侧的欧姆接触层和绝缘层，所述绝缘层环绕所述欧姆接触层分布；设置于所述欧姆接触层和所述绝缘层远离所述金属反射层一侧的第一DBR层；设置于所述第一DBR层远离所述欧姆接触层和所述绝缘层一侧的有源层；设置于所述有源层远离所述第一DBR层一侧的第二DBR层；以及设置于所述第二DNR层远离所述有源层一侧的电极。2.根据权利要求1所述的具有ODR的倒装VCSEL芯片，其特征在于，所述导电层的材质包括金属。3.根据权利要求2所述的具有ODR的倒装VCSEL芯片，其特征在于，所述导电层的材质包括铜或铜钨合金。4.根据权利要求1-3任意一项所述的具有ODR的倒装VCSEL芯片，其特征在于，所述导电层的厚度为100-200um。5.根据权利要求1所述的具有ODR的倒装VCSEL芯片，其特征在于，所述第一DBR层为P-DBR层，所述第二DBR层为N-DBR层。6.根据权利要求1所述的具有ODR的倒装VCSEL芯片，其特征在于，所述欧姆接触层包括GaAs层。7.一种具有ODR的倒装VCSEL芯片的制作方法，其特征在于，包括：提供一衬底；于所述衬底上从靠近所述衬底至远离所述衬底的方向依次生长第二DBR层、有源层、第一DBR层和欧姆接触层；蚀刻所述欧姆接触层的外围区域至露出所述第一DBR层；于所述第一DBR层靠近所述欧姆接触层的一侧环绕所述欧姆接触层沉积绝缘层；于所述欧姆接触层和所述绝缘层远离所述第一DBR层的一侧覆盖金属反射层；于所述金属反射层远离所述欧姆接触层和所述绝缘层的一侧设置导电层；去除所述衬底；于所述第二DBR层远离所述有源层的一侧设置电极。8.根据权利要求7所述的具有ODR的倒装VCSEL芯片的制作方法，其特征在于，于所述衬底上生长第二DBR层之前，还包括：于所述衬底上生长蚀刻截止层，所述第二DBR层生长于所述蚀刻截止层远离所述衬底的一侧。9.根据权利要求8所述的具有ODR的倒装VCSEL芯片的制作方法，其特征在于，于所述金属反射层远离所述欧姆接触层和所述绝缘层的一侧设置导电层具体包括：于所述金属反射层远离所述欧姆接触层和所述绝缘层的一侧蒸镀一材质为金属的过渡层；于所述过渡层远离所述金属反射层的一侧沉积与所述过渡层材质相同的导电层。10.根据权利要求8或9所述的具有ODR的倒装VCSEL芯片的制作方法，其特征在于，设置所述导电层之后，对所述导电层进行加压和或加热。

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