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申请/专利权人：地球山(苏州)微电子科技有限公司
摘要：本发明公开一种发声单元的制备方法和发声单元，涉及数字式扬声器技术领域，用于缩短牺牲层的释放时间，提升发声单元的生产效率。发声单元的制备方法包括提供键合在一起的上基板结构和下基板结构；在上基板结构上形成支撑结构以及多个发声通道；在支撑结构上形成牺牲层；在牺牲层的上方形成振膜结构；在下基板结构上远离上基板结构的一侧开设与发声腔体相连通的多个释放孔；去除牺牲层。发声单元包括下基板结构、上基板结构、支撑结构和振膜结构，下基板结构上设置有发声腔体和释放孔，上基板结构上开设有多个贯穿上基板结构的发声通道，支撑结构设置于上基板结构的远离下基板结构的一侧，振膜结构设置于支撑结构上。
主权项：1.一种发声单元的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供键合在一起的上基板结构和下基板结构；其中，所述下基板结构具有发声腔体；在所述上基板结构上形成支撑结构以及多个发声通道；其中，所述多个发声通道与所述发声腔体相对设置；在所述支撑结构上形成牺牲层；在所述牺牲层的上方形成振膜结构；在所述下基板结构上远离所述上基板结构的一侧开设与所述发声腔体相连通的多个释放孔；去除所述牺牲层。
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权利要求：
百度查询： 地球山(苏州)微电子科技有限公司 一种发声单元的制备方法和发声单元
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