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申请/专利权人:胜高股份有限公司
摘要:提供一种能够防止内表面粗糙且提高单晶成品率的单晶硅提拉用石英玻璃坩埚。石英玻璃坩埚1具有圆筒状的侧壁部1a、底部1b、设置于侧壁部1a和底部1b之间且具有比底部1b大的曲率的角部1c。至少遍及角部1c的整周测定透过光能量分布,根据透过光能量分布算出中心透过光能量Ia相对于散射透过光能量Ib的比率即中心散射透过光比率E=IaIb时,中心散射透过光比率E为0.1~1.8,角部1c的中心透过光及散射透过光的合计的透过率为10~60%。
主权项:1.一种石英玻璃坩埚,其特征在于,具有圆筒状的侧壁部、底部、设置于前述侧壁部和前述底部之间且具有比前述底部大的曲率的角部,至少遍及前述角部的整周测定透过光能量分布,由前述透过光能量分布算出中心透过光能量相对于散射透过光能量的比即中心散射透过光比率时,前述中心散射透过光比率为0.1~1.8,前述角部的中心透过光及散射透过光的合计的透过率为10~60%。
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