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申请/专利权人：住友化学株式会社
摘要：本发明提供一种经时变化小、可以制造图案形状良好的抗蚀剂图案的抗蚀剂组合物。本发明的抗蚀剂组合物包含羟基由以式3表示的基团取代了的线型酚醛树脂、产酸剂、猝灭剂和溶剂，式3中，Ra10表示碳原子数1～20的烃基例如烷基、烯基及炔基等链式烃基、脂环式烃基、芳香族烃基以及通过将它们组合而形成的基团等，*表示键合端。
主权项：1.一种抗蚀剂组合物，其包含羟基由以式3表示的基团取代了的线型酚醛树脂、碱可溶性树脂、产酸剂、猝灭剂和溶剂； 式3中，Ra10表示碳原子数1～20的烃基；*表示键合端。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 住友化学株式会社 抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案的制造方法
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