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申请/专利权人:天津固力坚自动化设备有限公司
摘要:本实用新型提供了一种球栅阵列器件清洗设备,包括:支撑架;清洗槽,为顶部开口的空腔结构,清洗槽固连于支撑架上,清洗槽用于放置清洗液;载板,为板状结构,载板置于清洗槽内部,载板用于放置球栅阵列器件。根据本实用新型的实施例,因为采用了可承装水基清洗液的清洗设备,通过设备中载板的栅格孔阵列的设置可避免损伤植球,减少了球栅阵列器件的机械冲击,将风险降低提高可靠性,所以至少部分地克服了现有清洗方式多为单器件清洗,清洗效率较低的技术问题,进而达到了实现多器件同步清洗、清洗速度更快、离子残留低、清洁度高、成品率高的技术效果。
主权项:1.一种球栅阵列器件清洗设备,其特征在于,包括:支撑架;清洗槽,为顶部开口的空腔结构,所述清洗槽固连于所述支撑架上,所述清洗槽用于放置清洗液;载板,为板状结构,所述载板置于所述清洗槽内部,所述载板用于放置球栅阵列器件。
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百度查询: 天津固力坚自动化设备有限公司 球栅阵列器件清洗设备
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