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申请/专利权人：天津固力坚自动化设备有限公司
摘要：本实用新型提供了一种球栅阵列器件清洗设备，包括：支撑架；清洗槽，为顶部开口的空腔结构，清洗槽固连于支撑架上，清洗槽用于放置清洗液；载板，为板状结构，载板置于清洗槽内部，载板用于放置球栅阵列器件。根据本实用新型的实施例，因为采用了可承装水基清洗液的清洗设备，通过设备中载板的栅格孔阵列的设置可避免损伤植球，减少了球栅阵列器件的机械冲击，将风险降低提高可靠性，所以至少部分地克服了现有清洗方式多为单器件清洗，清洗效率较低的技术问题，进而达到了实现多器件同步清洗、清洗速度更快、离子残留低、清洁度高、成品率高的技术效果。
主权项：1.一种球栅阵列器件清洗设备，其特征在于，包括：支撑架；清洗槽，为顶部开口的空腔结构，所述清洗槽固连于所述支撑架上，所述清洗槽用于放置清洗液；载板，为板状结构，所述载板置于所述清洗槽内部，所述载板用于放置球栅阵列器件。
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权利要求：
百度查询： 天津固力坚自动化设备有限公司 球栅阵列器件清洗设备
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