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申请/专利权人:宁波芯丰精密科技有限公司
摘要:本实用新型涉及晶圆修边设备技术领域,具体公开了晶圆寻边对中装置。该装置用于寻边对中待处理晶圆,包括晶圆吸附旋转平台、晶圆对中装置、晶圆寻边装置和晶圆定位装置;晶圆吸附旋转平台包括能承载待处理晶圆的吸附转盘,吸附转盘选择性吸附待处理晶圆且能绕自身轴线旋转;晶圆对中装置包括若干周向于均布于吸附转盘周围的晶圆对中PIN针,所有的晶圆对中PIN针能同步靠近或远离吸附转盘的轴线;晶圆寻边装置能监测检查位置,旋转的待处理晶圆的平边经过检查位置;晶圆定位装置包括能靠近或远离吸附转盘的轴线的定位夹具,定位夹具能抵压位于调整位置的待处理晶圆的平边。该装置能够完成不同尺寸晶圆的对中及寻边操作。
主权项:1.晶圆寻边对中装置,用于寻边对中待处理晶圆,其特征在于,包括:晶圆吸附旋转平台100,包括用于承载所述待处理晶圆的吸附转盘114,所述吸附转盘114选择性吸附所述待处理晶圆,所述吸附转盘114能绕所述吸附转盘114的轴线旋转;晶圆对中装置,包括若干周向于均布于所述吸附转盘114周围的晶圆对中PIN针200,所有的所述晶圆对中PIN针200能同步靠近或远离所述吸附转盘114的轴线;晶圆寻边装置300,用于监测检查位置,当所述待处理晶圆绕所述吸附转盘114的轴线旋转时,所述待处理晶圆的平边经过所述检查位置;晶圆定位装置400,包括定位夹具420,所述定位夹具420能靠近或远离所述吸附转盘114的轴线,所述定位夹具420用于抵压位于调整位置的所述待处理晶圆的平边。
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