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申请/专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆修边设备技术领域，具体公开了晶圆寻边对中装置。该装置用于寻边对中待处理晶圆，包括晶圆吸附旋转平台、晶圆对中装置、晶圆寻边装置和晶圆定位装置；晶圆吸附旋转平台包括能承载待处理晶圆的吸附转盘，吸附转盘选择性吸附待处理晶圆且能绕自身轴线旋转；晶圆对中装置包括若干周向于均布于吸附转盘周围的晶圆对中PIN针，所有的晶圆对中PIN针能同步靠近或远离吸附转盘的轴线；晶圆寻边装置能监测检查位置，旋转的待处理晶圆的平边经过检查位置；晶圆定位装置包括能靠近或远离吸附转盘的轴线的定位夹具，定位夹具能抵压位于调整位置的待处理晶圆的平边。该装置能够完成不同尺寸晶圆的对中及寻边操作。
主权项：1.晶圆寻边对中装置，用于寻边对中待处理晶圆，其特征在于，包括：晶圆吸附旋转平台100，包括用于承载所述待处理晶圆的吸附转盘114，所述吸附转盘114选择性吸附所述待处理晶圆，所述吸附转盘114能绕所述吸附转盘114的轴线旋转；晶圆对中装置，包括若干周向于均布于所述吸附转盘114周围的晶圆对中PIN针200，所有的所述晶圆对中PIN针200能同步靠近或远离所述吸附转盘114的轴线；晶圆寻边装置300，用于监测检查位置，当所述待处理晶圆绕所述吸附转盘114的轴线旋转时，所述待处理晶圆的平边经过所述检查位置；晶圆定位装置400，包括定位夹具420，所述定位夹具420能靠近或远离所述吸附转盘114的轴线，所述定位夹具420用于抵压位于调整位置的所述待处理晶圆的平边。
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