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压电振动器件及压电振动器件的频率调整方法 

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申请/专利权人:株式会社大真空

摘要:晶体谐振器100的频率调整方法中,在第二密封构件30的与第二激励电极112相向的第一主面301上,形成有由基底金属层36a和在其上层叠的金属层36b构成的频率调整用金属膜36,第二密封构件30由水晶构成。从第二密封构件30的外部对频率调整用金属膜36照射激光,通过使激光透射到第二密封构件30的内部将基底金属层36a加热,而使金属层36b的至少一部分熔化而蒸发并附着在第二激励电极112上,来进行频率调整。此时,基底金属层36a的熔化温度高于金属层36b的熔化温度,基底金属层36a与金属层36b之间的熔化温度差在1500K以上。

主权项:1.一种压电振动器件,是形成有激励电极的振动部由密封构件气密密封的压电振动器件,其特征在于:在所述密封构件的与所述激励电极相向的主面上,形成有由基底金属层和层叠在其上的金属层构成的频率调整用金属膜,所述基底金属层的熔化温度高于所述金属层的熔化温度,所述基底金属层与所述金属层之间的熔化温度差在1500K以上。

全文数据:

权利要求:

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