首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

晶片结晶定向的估测方法与系统 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司

摘要:本发明实施例涉及晶片结晶定向的估测方法与系统。根据本发明的一些实施例,一种方法包含:接收第一晶片;在所述第一晶片上界定第一区带及第二区带及多个第一区域;分别针对所述第一区带及所述第二区带界定多个第一区域及第二区域;将第一离子束投影到所述第一区域上且响应于所述第一离子束而接收第一热波;使所述第一晶片旋转达一扭角;将第二离子束投影到所述第二区域上且响应于所述第二离子束而接收第二热波;及基于所述第一离子束及所述第二离子束以及所述第一热波及所述第二热波估测所述第一晶片的第一结晶定向角。

主权项:1.一种方法,其包括:接收第一晶片;在所述第一晶片上界定第一区带及第二区带;分别针对所述第一区带及所述第二区带界定多个第一区域及第二区域;将第一离子束投影到所述第一区域上且响应于所述第一离子束而接收第一热波,其中所述第一晶片相应于所述第一区域倾斜达第一倾斜角,其中所述第一倾斜角具有角度差;使所述第一晶片旋转达一扭角;将第二离子束投影到所述第二区域上且响应于所述第二离子束而接收第二热波;及基于所述第一离子束及所述第二离子束以及所述第一热波及所述第二热波估测所述第一晶片的第一结晶定向角。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 台湾积体电路制造股份有限公司 晶片结晶定向的估测方法与系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。