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申请/专利权人：武汉帝尔激光科技股份有限公司;帝尔激光科技(无锡)有限公司
摘要：本申请提供一种孔结构形成方法，利用激光束照射待加工器件，以在待加工器件中形成从待加工器件的第一侧完全贯穿或部分贯穿待加工器件的第一改质线，以及从第一侧部分贯穿待加工器件的多个第二改质线，多个第二改质线在第一侧表面内沿第一预设轨迹分布，且包围第一改质线，第一改质线的深度大于第二改质线的深度，将待加工器件置于腐蚀液中进行腐蚀加工，腐蚀液对第一改质线和第二改质线的腐蚀速度大于对待加工器件的其他位置的腐蚀速度，则可以得到以第一改质线为中心的微孔，得到沿第一预设轨迹且部分贯穿待加工器件的第一盲孔，第一盲孔的孔径大于微孔的孔径且包围该微孔，使不同孔径的微孔和盲孔同时形成，简化工艺流程。
主权项：1.一种孔结构形成方法，其特征在于，所述方法包括：利用激光束照射待加工器件，以在所述待加工器件中形成从所述待加工器件的第一侧完全贯穿或部分贯穿所述待加工器件的第一改质线，以及从所述第一侧部分贯穿所述待加工器件的多个第二改质线，所述多个第二改质线在第一侧表面内沿第一预设轨迹分布，且包围所述第一改质线，所述第一改质线的深度大于所述第二改质线的深度；将所述待加工器件置于腐蚀液中进行腐蚀加工，以在所述待加工器件中形成以所述第一改质线所在位置为中心的微孔，和从所述第一侧部分贯穿所述待加工器件的第一盲孔，所述第一盲孔覆盖所述多个第二改质线所在位置，所述第一改质线完全贯穿所述待加工器件时，所述微孔为通孔，所述第一改质线部分贯穿所述待加工器件时，所述微孔为盲孔；所述微孔的孔径小于所述第一盲孔的孔径，所述第一盲孔和所述微孔连通；所述腐蚀液对所述第一改质线和所述第二改质线的腐蚀速度大于对所述待加工器件的其他位置的腐蚀速度。
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