龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：用于极紫外光刻机LPP光源脉宽可调谐种子光源装置，涉及一种光刻机LPP光源脉宽可调谐种子光源装置。本发明包括一组电光调Q射频波导腔倒空CO2激光器，以及一台高压脉冲信号可调谐装置，高压脉冲信号可调谐装置至少包括一个高速高压开关电路，高速高压开关电路包括第一主MOSFETM1、第二主MOSFETM2；第一主MOSFETM1的漏极与正电源+HV连接，第二主MOSFETM2的源极与地GND连接，第一主MOSFETM1的源极与第二主MOSFETM2的漏极连接；高速高压开关电路用于产生下降沿斜率程序可调的高速高压脉冲信号，高速高压脉冲信号用于对电光调Q射频波导腔倒空CO2激光器倒空腔结构中的调制晶体进行控制。
主权项：1.一种用于极紫外光刻机LPP光源脉宽可调谐种子光源装置，包括一组电光调Q射频波导腔倒空CO2激光器，其特征在于，所述装置还包括一台高压脉冲信号可调谐装置，所述高压脉冲信号可调谐装置至少包括一个高速高压开关电路，所述高速高压开关电路包括第一主MOSFETM1、第二主MOSFETM2；所述第一主MOSFETM1的漏极与正电源+HV连接，所述第二主MOSFETM2的源极与地GND连接，所述第一主MOSFETM1的源极与第二主MOSFETM2的漏极连接；所述高速高压开关电路用于产生下降沿斜率程序可调的高速高压脉冲信号，高速高压脉冲信号用于对电光调Q射频波导腔倒空CO2激光器倒空腔结构中的调制晶体进行控制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 用于极紫外光刻机LPP光源脉宽可调谐种子光源装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号